кремниевая литография

[jayrandom]

Кто мог бы простым языком для пешеходов объяснить, где именно в кремниевой литографии меряются 45nm, 22nm, 11nm и так далее?

Это толщина вафли? Толщина проводка? Минимальное расстояние между соседними проводками? Диаметр "транзистора"?

Спасибо.

Comments

[b-my.livejournal.com]

Поправки.
1. Принципиальные (помимо прочих) проблемы с утоньшением классического КМОП начинаются задолго до 1 атомного слоя (его толщина - десятые нм, так что до этого далеко). Проблемы - с примесями (донорными и акцепторными) и их распределением. Если в транзисторе примесные атомы исчисляются уже в сотнях _штук,_ то зонная структура полупроводника (и работоспособность конкретного транзистора) слишком уже зависит от конкретного распределения - куда, как и сколько попало того фосфора или индия.
Уменьшение транзисторов - увеличение разброса их параметров даже при _идеальной_ технологии (чего, понятно, не бывает). Соответсвенно - уже фундаментальные проблемы с выходом годных чипов.

2. "Вертикальные" транзисторы от Интел.

3. "Наводки" зависят не только от толщины, диэлектрики в современных техпроцессах - давно уж не диоксид кремния.

[golger-i.livejournal.com]

Спасибо, первая идея действительно принципиальная, и я её позорно пропустил. 2 и 3, по-моему, не попадают в раздел "для пешеходов" :) но тоже не знал: последний раз я рисовал транзисторы на кремнии 12 лет назад.