кремниевая литография

[jayrandom]

Кто мог бы простым языком для пешеходов объяснить, где именно в кремниевой литографии меряются 45nm, 22nm, 11nm и так далее?

Это толщина вафли? Толщина проводка? Минимальное расстояние между соседними проводками? Диаметр "транзистора"?

Спасибо.

Comments

[azgar.livejournal.com]

Я так понимаю, это "характерный размер детали".
Т.е., размер, до которого можно уменьшать детали схемы.
http://en.wikipedia.org/wiki/Semiconductor_device_fabrication (не читал)

[golger-i.livejournal.com]

Это половина минимального расстояния между двумя одинаковыми чем-то и чем-то в плоскости поверхности вафли.
http://en.wikipedia.org/wiki/22_nanometer
Всё равно, что рисовать - провода или транзисторы. В основном предел завязан на засвечивание и проявление фоторезиста; поскольку имеем дело со светом, диффракция не даёт сфокусировать точнее, чем длина волны (теоретически. В википедии пишут, как народ изощряется). Потом засвеченную и проявленную картинку надо протравливать - это тоже неточный процесс, невозможно протравить точно перпендикулярно поверхности вафли.

Существуют другие технологии, например обстрел силикона потоком ионов, или сфокусированным пучком рентгеновского излучения, там пределы принципиально другие, можно НЕКОТОРЫЕ прорези делать мельче, чем в обычной литографии.

[dobryi-drake.livejournal.com]

у panchul'а спросите, он знает