кремниевая литография

Кто мог бы простым языком для пешеходов объяснить, где именно в кремниевой литографии меряются 45nm, 22nm, 11nm и так далее?

Это толщина вафли? Толщина проводка? Минимальное расстояние между соседними проводками? Диаметр "транзистора"?

Спасибо.